| 发明名称 |
Method and apparatus for maintaining desired exposure levels |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0400578(B1) |
申请公布日期 |
1995.12.13 |
| 申请号 |
EP19900110167 |
申请日期 |
1990.05.29 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
VASSILIOU, EUSTATHIOS |
| 分类号 |
G02B26/10;G03C9/08;G03F7/00;G03F7/20;(IPC1-7):G03C9/08;G09B23/00 |
主分类号 |
G02B26/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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