| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE OF MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07326620(A) |
申请公布日期 |
1995.12.12 |
| 申请号 |
JP19940116843 |
申请日期 |
1994.05.30 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
KOUNO YUMIKO;TAKEYASU NOBUYUKI;KONDO HIDEKAZU;NAKANO TADASHI;YAMAMOTO HIROSHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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