| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING POST-TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07321090(A) |
申请公布日期 |
1995.12.08 |
| 申请号 |
JP19920354411 |
申请日期 |
1992.12.16 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK |
发明人 |
TODA AKIHITO |
| 分类号 |
C23F1/00;B01J27/185;C07C51/377;C07C57/03;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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