发明名称 METHOD AND JIG FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07318612(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940115490 申请日期 1994.05.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUYAMA TAKESHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01R33/76;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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