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发明名称 FORMATION OF SILICON NITRIDE FILM AND THIN FILM TRANSISTOR HAVING THE FILM
摘要
申请公布号 JPH07321200(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940129827 申请日期 1994.05.20
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 FUJISAWA JUNICHI
分类号 C23C16/34;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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