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发明名称 Verfahren und Apparat zur optischen Messung.
摘要
申请公布号 DE69114256(D1) 申请公布日期 1995.12.07
申请号 DE19916014256 申请日期 1991.12.10
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 HARVEY, GEORGE T., PRINCETON, NEW JERSEY 08540, US;HEUTMAKER, MICHAEL S., TRENTON, NEW JERSEY 08628, US;KUZYK, MARK G., PULLMAN, WASHINGTON 99163, US;SINGER, KENNETH DAVID, PEPPER PIKE, OHIO 44124, US
分类号 G01R19/00;G01R31/302;G01R31/308;G02F1/15;H01L21/66;H01S3/107;(IPC1-7):G01R31/311 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
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