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发明名称 Load-lock unit and wafer transfer system.
摘要
申请公布号 EP0506045(B1) 申请公布日期 1995.11.29
申请号 EP19920105208 申请日期 1992.03.26
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 OOSAWA, TETSU, C/O OPERATIONAL HEAD OFFICE;ASAKAWA, TERUO, C/O OPERATIONAL HEAD OFFICE;NEBUKA, KENJI, C/O OPERATIONAL HEAD OFFICE;ONO, HIROO, C/O OPERATIONAL HEAD OFFICE
分类号 B65G47/80;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G47/80
代理机构 代理人
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