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发明名称 METHOD OF PROCESSING SEMICONDUCTOR INGOT AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07308849(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940102498 申请日期 1994.05.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOBAYASHI SHOZO
分类号 B24B49/12;B24B1/00;B24B9/00;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/00 主分类号 B24B49/12
代理机构 代理人
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