发明名称 HEIGHT MEASURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR PELLET AND ITS MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07311017(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940102479 申请日期 1994.05.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIYAHARA UICHI
分类号 G01B11/02;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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