发明名称 |
INSTRUMENT AND METHOD FOR MEASURING X-RAY REFLECTANCE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07311163(A) |
申请公布日期 |
1995.11.28 |
申请号 |
JP19940128166 |
申请日期 |
1994.05.18 |
申请人 |
RIGAKU CORP;HITACHI LTD |
发明人 |
KIKUCHI TETSUO;KURIYAMA TAKASHI;USAMI KATSUHISA;MOMOSE HIDETO;KOBAYASHI NORIO |
分类号 |
G01N23/201;(IPC1-7):G01N23/201 |
主分类号 |
G01N23/201 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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