发明名称 INSTRUMENT AND METHOD FOR MEASURING X-RAY REFLECTANCE
摘要
申请公布号 JPH07311163(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19940128166 申请日期 1994.05.18
申请人 RIGAKU CORP;HITACHI LTD 发明人 KIKUCHI TETSUO;KURIYAMA TAKASHI;USAMI KATSUHISA;MOMOSE HIDETO;KOBAYASHI NORIO
分类号 G01N23/201;(IPC1-7):G01N23/201 主分类号 G01N23/201
代理机构 代理人
主权项
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