发明名称 DEVICE AND METHOD FOR NON-CONTACT MEASUREMENT OF THICKNESS OF SEMI-CONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH07306018(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940124636 申请日期 1994.05.13
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 OTANI ATSUSHI
分类号 G01B11/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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