| 发明名称 |
COATING AGENT FOR FORMING INORGANIC OXIDE FILM CAPABLE OF PATTERNING AND METHOD FOR FORMING PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07304998(A) |
申请公布日期 |
1995.11.21 |
| 申请号 |
JP19940295176 |
申请日期 |
1994.11.29 |
| 申请人 |
NISSAN CHEM IND LTD |
发明人 |
NOGAMI TATSUYA;SAKAI RIE;HOSOYA TAKESHI;NAKADA TAKAKAZU |
| 分类号 |
G03F7/004;C09D1/00;G03F7/038;(IPC1-7):C09D1/00 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
