发明名称 METHOD OF FORMING CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPH07307325(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940124517 申请日期 1994.05.13
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAMOTO MINORU
分类号 H01L21/28;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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