发明名称 COLLIMATOR
摘要
申请公布号 JPH07307288(A) 申请公布日期 1995.11.21
申请号 JP19940311930 申请日期 1994.12.15
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 KIN KENDO
分类号 C23C14/34;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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