| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR GENERATING MONOCHROMATIC MULTIVALENT ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07307134(A) |
申请公布日期 |
1995.11.21 |
| 申请号 |
JP19940120772 |
申请日期 |
1994.05.11 |
| 申请人 |
TDK CORP |
发明人 |
NIIMURA MASANOBU;IKEDA MASAAKI;YODOGAWA MASATADA |
| 分类号 |
H01J27/04;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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