Silikon enthaltendes positives Photoresistmaterial und dessen Verwendung in Dünnfilm-Verpackung-Technologie.
摘要
申请公布号
DE69300616(D1)
申请公布日期
1995.11.16
申请号
DE19936000616
申请日期
1993.03.23
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
SACHDEV, KRISHNA G., HOPEWELL JUNCTION, NEW YORK 12533, US;SACHDEV, HARBANS S., HOPEWELL JUNCTION, NEW YORK 12533, US;WHITAKER, JOEL R., PORT EWEN, NEW YORK 12466, US
