发明名称 Halbleiter-Bauelement mit verbesserter Gate-Kapazität und dessen Herstellungsverfahren.
摘要
申请公布号 DE68924495(D1) 申请公布日期 1995.11.16
申请号 DE1989624495 申请日期 1989.04.25
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KITAOKA, NOBUYASU, MINATO-KU TOKYO, JP
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L21/8244;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/11;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/41;H01L27/10;H01L51/00 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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