| 摘要 |
<p>Procédé et système de fabrication de circuit électronique permettant de fabriquer un circuit électronique qui possède les caractéristiques désirées. Après une étape arbitraire de formation d'une couche du dispositif électronique, la forme du motif ou les valeurs physiques de la couche sont mesurées ou bien les informations de contrôle sur le système de fabrication sont recueillies pendant ladite étape. Le processus de fabrication après ladite étape est prédit par un simulateur utilisant les informations de contrôle pour optimiser les conditions de fabrication après l'étape ou pour corriger les motifs. Etant donné que le processus de fabrication du circuit électronique est amélioré grâce à l'apport des corrections nécessaires sur les motifs ou les conditions de fabrication, les circuits électroniques défectueux qui ont été mis au rebut sont récupérés en tant que produits non défectueux, ce qui entraîne une amélioration du rendement et une réduction du temps de mise au point.</p> |
