| 发明名称 |
FIELD OXIDIZED FILM FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07302836(A) |
申请公布日期 |
1995.11.14 |
| 申请号 |
JP19930255916 |
申请日期 |
1993.10.13 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
SE AU JIYAN;KIYUN MI RII;CHIYUN SUU HAN |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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