发明名称 ION IMPLANTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07302576(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19950096529 申请日期 1995.04.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKIKUCHI KATSUMI;SAKUMICHI KUNIYUKI;OKADA OSAMI;KOIKE HIDEMI;SAITO NORIO;OZASA SUSUMU
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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