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发明名称
DRAINING DRYING DEVICE FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH07302779(A)
申请公布日期
1995.11.14
申请号
JP19940117620
申请日期
1994.05.06
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
SUZUKI SATOSHI
分类号
H01L21/304;F26B15/00;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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