| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07297151(A) |
申请公布日期 |
1995.11.10 |
| 申请号 |
JP19940107438 |
申请日期 |
1994.04.25 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
ISHII HITOSHI;ARITA MUTSUNOBU |
| 分类号 |
C23C16/14;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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