发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING ELECTRON TEMPERATURE, AND METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING ELECTRON TEMPERATURE
摘要
申请公布号 JPH07296987(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940083441 申请日期 1994.04.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HIKOSAKA YUKINOBU
分类号 H05H1/00;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J1/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/00;H01L21/306 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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