| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD OF MULTIPLE OXIDE THIN FILM AND FILM FORMING DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07291798(A) |
申请公布日期 |
1995.11.07 |
| 申请号 |
JP19940107326 |
申请日期 |
1994.05.23 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SUZUKI TAKESHI;MATSUI TOSHIYUKI;KIMURA HIROSHI;YAMAGUCHI HIROHIDE;TSUDA KOICHI;KOE KAZUO |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/08;C23C14/24;C30B29/22;H01L39/24;(IPC1-7):C30B29/22 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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