发明名称 使用旋转接受器反应器藉低温电浆增强化学蒸气沉积作用制造薄膜之方法及装置
摘要 在温度实质上低于用热CVD温度下,藉电浆加强之化学蒸气沉积作用,将薄膜沉积在基材22上,故将基材置于反应室12中,并在此基材之上游激发第一种气体,以产生第一种气体之活化基团。于邻近此基材处,供应第二种气体,以便与该第一种气体之活化基团混合,则此混合物会在基材上产生表面反应,而沉积一片薄膜。此基材之旋转会使该气体混合物以层状流动29,向下抽取至基材表面,以降低回流及基团重组。另一种方法系利用一种气体分散簇射头298,其系使用RF能量造成偏压而形成电极,其会在靠近基材表面之浓电浆中产生活化基团与离子。
申请公布号 TW261689 申请公布日期 1995.11.01
申请号 TW083112433 申请日期 1994.12.31
申请人 物质研究公司 发明人 约瑟夫.T.西尔曼;劳伯.F.佛斯特;雷尼.E.雷布兰克
分类号 H01L21/205;H01L49/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.用以容纳墨的一种墨容纳装置,包含: 一个负压产生之毛细作用吸收材料; 用以容纳该负压产生之毛细作用吸收材料的一个 第一个容 器,该第一个容器具有一个空气孔和用以供应出墨 的一个 供应埠; 用以容纳墨的一个第二个容器; 用以连通该第一个和第二个容器的底部的一个连 通部;以 及 邻接该空气孔用以将空气导入该连通部的周围空 气导入装 置。2.依据申请专利范围第1项的装置,其中该周围 空气导入 装置将空气导入邻接该连通部一个液面构成的区 域。3.依据申请专利范围第1项的装置,其中该周围 空气导入 装置包括延伸于连通部上方的一个肋。4.依据申 请专利范围第1项的装置,其中该周围空气导入 装置包括延伸于该连通部上方的一个沟槽。5.依 据申请专利范围第4项的装置,其中一个阶梯部份 构 造于该第一个容器的一个表面上的沟槽上方。6. 依据申请专利范围第1项的装置,其中该负压产生 之毛 细作用吸收材料包括一个墨吸收材料。7.依据申 请专利范围第1项的装置,其中该负压产生元件 包括具有邻接该连通部比其它部份小的一个压缩 比的一个 墨吸收材料。8.依据申请专利范图第1项的装置,其 中该第二个容器装 有包含水,彩色材料和水溶性有机溶剂而具有20dyne /cm —55dyne/cm的表面张力的一个墨。9.依据申请专利 范图第1项的装置,其中该第二个容器装 有含有至少一种非离子界面活化剂的一个墨。10. 依据申请专利范图第1项的装置,其中该第二个墨 容器 被提供了用以侦测墨量是否低于一个预定的高度 的一个侦 测装置。11.依据申请专利范图第1项的装置,其中 该第二个容器能 够以可拆卸之方式安装于一个喷墨记录头上。12. 一种喷墨记录装置,包含: 用以容纳墨包括一个负压产生之毛细作用吸收材 料的一个 墨容器用以容纳该负压产生之毛细作用吸收材料 的一个第 一个容器,该第一个容器具有一个空气孔和用以供 应出墨 的一个供应埠;用以容纳墨的一个第二个容器;用 以连通 该第一个和第二个容器底部的一个连通部;邻接该 空气孔 用以将空气导入该连通部的周围空气导入装置;以 及 用以安装该墨容器的一个安装部份。13.依据申请 专利范图第12项的装置,其中该周围空气导 入装置将周围空气导入邻接该连通部一个液面构 成的区域 。14.依据申请专利范图第12项的装置,其中该周围 空气导 入装置包括延伸于连通部上方的一个肋。15.依据 申请专利范图第12项的装置,其中该周围空气导 入装置包括延伸于该连通部上方的一个沟槽。16. 依据申请专利范图第15项的装置,其中一个阶梯部 份 被构造于该第一个容器的一个表面上的沟槽上方 。17.依据申请专利范图第12项的装置,其中该负压 产生之 毛细作用吸收材料包括一个墨吸收材料。18.依据 申请专利范图第12项的装置,其中该负压产生元 件包括具有邻接该连通部比其它部份子的一个压 缩比的一 个墨吸收材料。19.依据申请专利范图第12项的装 置,其中该第二个容器 装有含有水,彩色材料和水溶性有机溶剂而且具有 20dyne /cm—55dyne/cm的一个表面张力的一个墨。20.依据申 请专利范图第12项的装置,其中该第二个容器 装有含有至少一种非离子界面活化剂的一个墨。 21.依据申请专利范图第12项的装置,其中该第二个 墨容 器被提供了用以侦测墨量是否低于一个预定高度 的一个侦 测装置。22.依据申请专利范图第12项的装置,其中 该第二个容器 能够以可拆卸之方式安装于一个喷墨记录头上。 图示简单说明: 图1显示依据本发明的一个实施例的一个记录头和 一个墨 容器之间的连结。 图2展示依据本发明的另一个实施例的一个记录头 和一个 墨容器。 图3展示依据本发明的一个实施例的一个墨容器。 图4是一个记录装置的一个透视图。 图5展示依据本发明的另一个实施例的一个墨容器 。 图6展示依据本发明的另一个实施例的一个墨容器 。 图7展示依据本发明的另一个实施例的一个墨容器 。 图8展示依据本发明的另一个实施例的一个墨容器 。 图9展示依据本发明的另一个实施例的一个墨容器 。 图10展示墨供应源的一个模型。 图11是显示依据本发明的一个实施例的一个墨容 器中的墨 供应部份的内部压力变化的线图。 图12显示一个比较用的实例中的墨供应源的一个 模型。 图13是显示该比较用的实例中的墨供应部份的内 部压力变 化的一个线图。 图14展示其中墨容器充满墨的一个起始状态。 图15展示其中空气—液体介面开始形成的一个状 态。 图16显示墨供应结束时的状态。 图17显示其中墨已经用完的状态。 图18是具有四个一体成形的头的一个装置的一个 透视图, 其各别的墨容器可以安装。 图19展示依据本发明的另一个实施例的一个墨容 器。 图20显示一个墨供应源的一个模型。 图21是依据本发明的另一个实施例的用于喷墨记 录的一个 墨卡匣主体的一个纵长的截面视图。 图22是图21的喷墨记录装置的一个墨卡匣主体的一 个截面 视图。 图23是墨卡匣主体的一个截面视图,特别显示图21 的肋的 表面。 图24是墨卡匣主体的一个截面视图,显示依据本发 明的另 一个实施例的肋的表面。 图25是依据本发明的另一个实施例的一个肋的一 个放大截 面视图。 图26是依据本发明的另一个实施例的用于一个可 更换式的 喷墨记录的一个墨卡匣主体的一个纵长截面视图 。 图27是依据本发明的另一个实施例的用于可更换 式的喷墨 记录的一个墨卡匣主体的一个截面视图。 图28是一个墨卡匣主体的一个截面视图,显示依据 本发明 的另一个实施例的肋的表面。 图29是使用于一个比较用的实例中的喷墨记录的 一个墨卡 匣主体的一个纵长的截面视图。 图30是使用于该比较用的实例中的喷墨记录的一 个墨卡匣 主体的一个截面视图。 图31是显示一个比较用的实例中的肋的表面的墨 卡匣主体 的一个截面视图。 图32是一个放大的截面视图,显示比较用的实例中 的肋的 截面。 图33展示水平的印刷位置。 图34展示在一个墨室中的压缩墨吸收材料的泄漏 墨缓冲功 能。 图35显示依据本发明的另一个实施例的压缩墨吸 收材料的 压缩比分布的一个实例。 图36显示图35的实施例之中的压缩墨吸收材料的压 缩比分 布的另一个实例。 图37显示图35的实施例之中的压缩墨吸收材料的压 缩比分 布的另一个实例。 图38显示一个比较用的实例之中压缩墨吸收材料 的压缩比 分布的一个实例。 图39显示一个比较用的实例之中压缩墨吸收材料 的压缩比 分布的另一个实例。 图40显示依据本发明的另一个实施例的其它墨室 的一个实 例。 图41显示图40的实施例之中的另一个墨室的一个实 例。 图42显示依据本发明的另一个实施例的分隔的压 缩墨吸收 材料的一个实例。 图43显示依据本发明的另一个实施例的墨室中的 墨吸收材 料安排的一个实例。 图44展示组装图43实施例的装置的问题。 图45展示一个比较用的实例中的墨消耗量。 图46显示图45的比较实例中压力减低时的墨泄漏。 图47是依据本发明的另一个实施例的一个经过修 改的实例 。 图48是图47实施例的一个经过修改的实例。 图49是显示依据本发明的一个实施例而安装可更 换的墨容 器和记录头于载具上的一个截面视图。 图50展示依据图49的实施例的装置中的墨消耗量。 图51展示空气和墨之间的交换的基本原理。 图52展示依据本发明的另一个实施例的墨供应部 份的内部 压力。 图53展示图52实施例的装置中的墨缓冲功能。 图54是显示该装置的控制系统的一个实例的一个 块状图。 图55显示1依据本发明的另一个实施例,当墨的残存 量被 加以侦测时的状态。 图56展示依据图55实施例的容器中心的墨供应部份 的内部 压力。 图57显示一个墨充填方法的一个实例。 图58展示依据本发明的另一个实施例的墨消耗量 。 图59展示依据图58的实施例的进一步的墨消耗量。 图60显示在图58的实施例的装置中,其中墨的残存 量被加 以侦测的状态。 图61展示在墨室之中的墨用完之后,其中墨被再次 喷出的 状态。 图62展示依据本发明的另一个实施例的残存量侦 测。 图63展示图62的实施例中经过修改的一个墨残存量 侦测。 图64展示依据本发明的另一个实施例的一种墨充 填方法。 图65显示压力减低时墨的流量。
地址 美国