| 发明名称 |
METHOD FOR CALCULATING WIRING CAPACITANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07288281(A) |
申请公布日期 |
1995.10.31 |
| 申请号 |
JP19940078881 |
申请日期 |
1994.04.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP;HITACHI COMPUT ENG CORP LTD |
发明人 |
UEMATSU HIROSHI;MIYAKE TOICHI |
| 分类号 |
H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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