发明名称 METHOD FOR FORMING CONTACT CONNECTION
摘要
申请公布号 RU1708104(C) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 SU19894776397 申请日期 1989.11.01
申请人 EREVANSKIJ POLITEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.K.MARKSA 发明人 MKRTCHYAN S.O.;ESAYAN S.ZH.;AVAKYAN P.B.;ABGARYAN M.G.;BUDAGYAN A.N.
分类号 H01L21/285;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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