发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING AMOUNT OF OPTICAL DISPLACEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07280521(A) |
申请公布日期 |
1995.10.27 |
申请号 |
JP19940071141 |
申请日期 |
1994.04.08 |
申请人 |
KEYENCE CORP |
发明人 |
KOYAMA KATSUYA;YOSHIKAWA JUN |
分类号 |
G01B11/00;G01B11/02;G01D5/36;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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