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发明名称 STEPPING AIR MOTOR AND SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE USING IT
摘要
申请公布号 JPH07279601(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940065814 申请日期 1994.04.04
申请人 SHINANO ELECTRON:KK 发明人 ITO MASATO
分类号 F01C1/00;F03C1/053;F03C1/26;F03C1/28;H01L21/66;(IPC1-7):F01C1/00 主分类号 F01C1/00
代理机构 代理人
主权项
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