| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07283094(A) |
申请公布日期 |
1995.10.27 |
| 申请号 |
JP19940071036 |
申请日期 |
1994.04.08 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HAJIKI KENJI;HAMADA TETSUYA;KAMEI KENJI;MORIMOTO TORU |
| 分类号 |
G02F1/13;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/68 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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