| 发明名称 |
EQUIPMENT FOR CLIMATIC TESTS OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1572342(C) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
SU19874230564 |
申请日期 |
1987.04.15 |
| 申请人 |
MAKHAEV VLADIMIR GAVRILOVICH |
发明人 |
MAKHAEV V.G.;GLADKOV A.V. |
| 分类号 |
H01L21/66;H05K13/02;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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