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发明名称
FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号
JPH07273115(A)
申请公布日期
1995.10.20
申请号
JP19940081009
申请日期
1994.03.28
申请人
SONY CORP
发明人
SUGANO YUKIYASU
分类号
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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