| 发明名称 |
PROCESS OF FORMATION OF THIN FILMS ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2046450(C1) |
申请公布日期 |
1995.10.20 |
| 申请号 |
SU19925056720 |
申请日期 |
1992.07.27 |
| 申请人 |
NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT MOLEKULYARNOJ ELEKTRONIKI |
发明人 |
LISKIN LEV A |
| 分类号 |
H01L21/30;G03C1/74;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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