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发明名称
RESIST PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH07273007(A)
申请公布日期
1995.10.20
申请号
JP19940060438
申请日期
1994.03.30
申请人
NEC CORP
发明人
MASAKO SACHIKO
分类号
G03F7/11;B82B1/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/11
代理机构
代理人
主权项
地址
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