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发明名称 IC-Prüfverfahren
摘要
申请公布号 DE19513819(A1) 申请公布日期 1995.10.19
申请号 DE19951013819 申请日期 1995.04.12
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES INC., SAN JOSE, CALIF., US 发明人 LEE, WILLIAM T., SAN JOSE, CALIF., US;SOETARMAN, RONNY, SAN JOSE, CALIF., US;TALBOT, CHRISTOPHER GRAHAM, MENLO PARK, CALIF., US
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/303;(IPC1-7):H01J37/256;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/320;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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