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发明名称 METHOD FOR PRODUCING HYDROGEN BORIDE GAS AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07267609(A) 申请公布日期 1995.10.17
申请号 JP19940081160 申请日期 1994.03.29
申请人 NACHI FUJIKOSHI CORP 发明人 KANDA KAZUTAKA
分类号 C01B6/11;C01B35/02;(IPC1-7):C01B6/11 主分类号 C01B6/11
代理机构 代理人
主权项
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