| 发明名称 |
APPARATUS FOR CONVEYING/ACCOMODATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07263520(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940074448 |
申请日期 |
1994.03.17 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MIZOHATA YASUHIRO |
| 分类号 |
B65D85/57;B65D85/86;B65G1/00;G11B7/26;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65D85/57 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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