| 发明名称 |
MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07263589(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19950026641 |
申请日期 |
1995.02.15 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
TAKEYASU NOBUYUKI;OOTA TOMOHIRO;YAMAMOTO HIROSHI |
| 分类号 |
H01L23/12;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L23/12 |
主分类号 |
H01L23/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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