| 发明名称 |
WET TREATMENT OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07263430(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940056109 |
申请日期 |
1994.03.25 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
AOKI HIDEMITSU;MORITA MAKOTO;TSUJI MIKIO |
| 分类号 |
C09K13/00;B08B3/08;B08B3/10;C02F1/46;C02F1/461;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
C09K13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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