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发明名称
ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPH07262947(A)
申请公布日期
1995.10.13
申请号
JP19940051698
申请日期
1994.03.23
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
HASHIMOTO HAJIME;IRISAWA KAZUHIKO;INOUE DAISUKE;TAWARA HIDEAKI
分类号
H01J27/14;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08
主分类号
H01J27/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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