发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07263637(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940055552 申请日期 1994.03.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ARITA KOJI;INOUE ATSUO;NAGANO YOSHIHISA;NASU TORU;MATSUDA AKIHIRO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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