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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07263678(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940049456 申请日期 1994.03.18
申请人 NEC CORP 发明人 NODA KENJI
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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