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发明名称 IMPURITY INTRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH07263371(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940048440 申请日期 1994.03.18
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 KURAISON TORONNAMUCHIYAI
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/761;H01L27/12;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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