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发明名称 PHOTODEFINABLE POLYMERS CONTAINING PERFLUOROCYCLOBUTANE GROUPS.
摘要
申请公布号 EP0676062(A1) 申请公布日期 1995.10.11
申请号 EP19940902456 申请日期 1993.12.01
申请人 THE DOW CHEMICAL COMPANY 发明人 BABB, DAVID, A.;RICHEY, W., FRANK;CLEMENT, KATHERINE, S.;MOYER, ERIC, S.;SORENSON, MARIUS, W.
分类号 G03F7/028;C07C43/225;C07C43/23;C07C45/65;C07C45/70;C07C45/71;C07C45/74;C07C47/277;C07C47/575;C07C49/255;C07C49/753;C07C49/84;C07C50/32;C07C59/68;C07C59/90;C07C65/28;C07C65/40;C07C205/35;C07C205/45;C07C225/22;C07C255/56;C07C265/12;C07D311/18;C08F2/48;C08F14/18;C08F16/14;C08F16/32;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004;C07C43/17 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人
主权项
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