发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07254644(A) 申请公布日期 1995.10.03
申请号 JP19940044606 申请日期 1994.03.16
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 GOJIYOUBORI HARUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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