发明名称 ELECTROSTATIC CAPACITY-TYPE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH07253372(A) 申请公布日期 1995.10.03
申请号 JP19940068928 申请日期 1994.03.15
申请人 YAMATAKE HONEYWELL CO LTD 发明人 ISHIKURA YOSHIYUKI
分类号 G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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