| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET MATERIAL FOR FORMING LUBRICATING COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07252648(A) |
申请公布日期 |
1995.10.03 |
| 申请号 |
JP19940043575 |
申请日期 |
1994.03.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO KINZOKU TECHNOL KK;KUBOTA CORP;OSAKA ASAHI SHOJI KK |
发明人 |
TAMAOKI TOSHIHIRO;FUNAKOSHI ATSUSHI;NISHI TAKASHI;DEN TAKAFUMI |
| 分类号 |
F16N15/00;B22F3/14;B22F3/15;C22C1/05;C22C32/00;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
F16N15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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