发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07254652(A) 申请公布日期 1995.10.03
申请号 JP19940071563 申请日期 1994.03.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MARUYAMA TORU;HEMINKU GERUTOYAN;WATABE HIROSHI;ARITOME SEIICHI
分类号 H01L21/8247;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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