| 发明名称 |
PLASMA SURFACE PROCESSING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07254588(A) |
申请公布日期 |
1995.10.03 |
| 申请号 |
JP19940071565 |
申请日期 |
1994.03.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIMONISHI SATOSHI;SEKINE MAKOTO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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