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发明名称
HEAT TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号
JPH07254570(A)
申请公布日期
1995.10.03
申请号
JP19950042231
申请日期
1995.03.02
申请人
TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD
发明人
TANAKA DAISUKE;KITAYAMA HIROBUMI
分类号
H01L21/302;H01L21/22;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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